2021.11.29NEW 超薄板窒化ケイ素セラミックス基板の高絶縁耐圧を実証 国立研究開発法人 産業技術総合研究所(以下「産総研」という)マルチマテリアル研究部門 セラミック組織制御グループ …
2021.11.29 NEW 超薄板窒化ケイ素セラミックス基板の高絶縁耐圧を実証 国立研究開発法人 産業技術総合研究所(以下「産総研」という)マルチマテリアル研究部門 セラミック組織制御グループ 中島 佑樹 研究員、福島 学 研究グループ長、周 游 主任研究員、平尾 喜代司 招聘研究員、日向 秀樹 研究グループ付らは、32 μmの超薄型基板窒化ケイ素絶縁放熱基板を試作し、同薄板の絶...